一种等离子体处理用聚焦环组件
授权
摘要

本实用新型公开了一种等离子体处理用聚焦环组件,包括支架、等离子聚焦环体、中轴和进气口,所述支架的一侧设置有拆卸结构,所述拆卸结构的中间位置处安装有中轴,所述中轴的表面安装有等离子聚焦环体,所述支架的底端设置有升降结构,所述等离子聚焦环体的顶端安装有进气口,所述夹持结构的底端安装有出气口。本实用新型当转动转把,便带动了齿轮进行旋转,再利用齿轮的旋转,便可带动齿条杆进行高度调节,再利用齿条杆的运动,便可带动齿条架进行上下滑动,通过齿条架的运动将带动等离子聚焦环体进行高度调节,避免了等离子聚焦环体表面的进气口与不同高度的外部气管连接不便的现象,由此实现了此聚焦环组件的升降功能。

基本信息
专利标题 :
一种等离子体处理用聚焦环组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022055689.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-18
授权号 :
CN213242484U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
曹峰峰李得平
申请人 :
盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022055689.1
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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