一种沟槽型汽车功率器件的刻蚀夹持装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种沟槽型汽车功率器件的刻蚀夹持装置，包括机床，所述机床顶部固定设有防撞梁、且防撞梁下方活动连接刻蚀装置，机床顶部向上延伸出一个转轴，转轴上方活动贯穿固定安装在机床顶部的支撑板，且转轴顶部与夹持底座固定连接，夹持底座转动安装在支撑板顶部，夹持底座内部的空腔中的丝杠的一段活动连接操作杆，且夹持底座表面活动安装内端开设有弧形凹槽夹持组件一和固定的夹持块，夹持组件一的弧形凹槽上固定设有橡皮护垫。丝杠上固定连接的丝杠滑块通过螺丝与夹持组件一固定连接，旋转操作杆，通过丝杠的反向螺纹结构实现夹持组件一的相对运动，促使夹持装置的锁紧状态，从而实现夹持要求。
基本信息
专利标题 ：
一种沟槽型汽车功率器件的刻蚀夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022097769.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-22
授权号 ：
CN212810268U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
江海军
申请人 ：
江海军
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区石楼镇莲港大道126号庄士映蝶蓝湾一期1栋3梯1401
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022097769.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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