一种晶硅切片机主轴非接触密封结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种晶硅切片机主轴非接触密封结构,涉及主轴密封的技术领域,其技术方案要点是包括主轴外套;密封静环;以及密封动环,其固定在主轴芯轴上;密封静环与密封动环之间形成气幕间隙和排污腔,排污腔位于气幕间隙靠近零部件安装空间一侧,气幕间隙与外界连通,密封静环上开设有用于对气幕间隙供气的静环供气孔,密封静环上开设有用于将排污腔中的污染杂质排出的静环排污孔;将高压气体通入到静环供气孔当中,供气孔将气体送入到气幕间隙中,一部分气体在气幕间隙中形成向外吹拂的气幕,一部分进入到排污腔中,气幕能够阻挡污染杂质进入密封静环和密封动环之间,向排污腔内吹的气体,能够将进入突破气幕进入排污腔中的杂质通过静环排污孔吹出。

基本信息
专利标题 :
一种晶硅切片机主轴非接触密封结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022117671.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN212251141U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
鹿慧丰王海超仇健
申请人 :
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 :
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
于晶晶
优先权 :
CN202022117671.X
主分类号 :
F16J15/34
IPC分类号 :
F16J15/34  F16J15/40  F16J15/16  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16J
活塞;缸;一般压力容器;密封
F16J
活塞;缸;一般压力容器;密封
F16J15/00
密封
F16J15/16
在相对运动的表面之间
F16J15/34
带有压向一个元件上的近于径向面的滑环
法律状态
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332