一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构，涉及主轴密封的技术领域，其技术方案要点是包括主轴外套，其套设在主轴芯轴外侧，用于对主轴芯轴进行支撑；密封静环一，其固定在主轴外套靠近主轴芯轴端部的一侧，密封静环一上开设有密封静环一供气孔；以及密封动环，其固定在主轴芯轴上；密封动环与密封静环一相互靠近的一侧形成第一气幕间隙，第一气幕间隙与外界连通并且气幕间隙与密封静环一供气孔相互连通，通过高压气体在第一气幕间隙中形成向外吹拂的气幕，使得外界的污染杂质不容易通过气幕间隙进入轴承处。
基本信息
专利标题 ：
一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022118498.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN212690825U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
鹿慧丰王海超仇健
申请人 ：
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于晶晶
优先权 ：
CN202022118498.5
主分类号 ：
F16J15/34
IPC分类号 ：
F16J15/34 F16J15/40 F16J15/16
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J15/00
密封
F16J15/16
在相对运动的表面之间
F16J15/34
带有压向一个元件上的近于径向面的滑环
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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