一种半导体器件排气设备
授权
摘要
本实用新型公开了半导体器件排气技术领域的一种半导体器件排气设备，包括过滤壳体，过滤壳体的顶部固定连接有水箱，水箱的顶部连通有排气箱，过滤壳体的内腔从上至下依次设置有活性炭吸附板、无纺布板和过滤板，过滤壳体内腔的两侧且位于活性炭吸附板、无纺布板和过滤板的两侧均固定连接有固定块；首先，将吸气板、第三连管、三通管、第二连管和风机安装于半导体器件制造设备内部，通过本实用新型设有的风机通过第二连管与三通管的连通产生吸力，再通过三通管与第三连管和吸气板的连通对制造设备内部的气体进行吸取，在吸取的同时，再通过风机出风端与过滤壳体的连通将废气注入过滤壳体内腔的底部，实现对半导体器件进行排气的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体器件排气设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022189249.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN213555994U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
王家武杨定永阿凤雄
申请人 ：
云南全控机电有限公司
申请人地址 ：
云南省昆明市中国(云南)自由贸易试验区昆明片区经开区阿拉街道办事处云大西路39号新兴产业孵化区A幢1楼103-105号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022189249.5
主分类号 ：
B01D46/12
IPC分类号 ：
B01D46/12 B01D50/00 B01D53/04 B01D53/18 B01D47/02 B08B15/00 B08B15/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
B01D46/12
多排的
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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