一种新型半导体硅片割圆设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型半导体硅片割圆设备,包括支架和安装在支架上的罩壳,所述罩壳内上下对称式地转动安插有两个支撑杆,两个所述支撑杆相对的一端均通过伸缩组件连接有压抵座,两个所述支撑杆相背对的一端均固定套接有蜗轮,所述罩壳外设置有与两个蜗轮相匹配的带转机构,且所述罩壳的内壁上安装有分割组件,所述分割组件包括安装在罩壳内壁上的电动滑轨,所述电动滑轨上滑动设置有电动滑块,所述电动滑块上安装有割刀,所述带转机构包括分别转动安插在罩壳侧面的两个蜗杆,两个所述蜗杆伸入罩壳内的一端分别与两个蜗轮啮合连接。本实用新型通过机械助力的方式实现对半导体硅片的规整割圆,能最大程度上保证成品的质量。
基本信息
专利标题 :
一种新型半导体硅片割圆设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022244949.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-11
授权号 :
CN213947050U
授权日 :
2021-08-13
发明人 :
王海霖
申请人 :
上海亿钶气体有限公司
申请人地址 :
上海市普陀区金沙江路1628弄10号1505室
代理机构 :
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 :
杜丹盛
优先权 :
CN202022244949.X
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04 B28D7/04 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2021-08-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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