一种具有通用功能的晶圆片涂布机
授权
摘要
本申请涉及涂布机的领域，尤其是涉及一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其包括容纳架，容纳架上设置有第一放置支架和第二放置支架，第一放置支架和第二放置支架之间形成用于放置晶圆片的放置空间；第一放置支架和第二放置支架均水平滑动设置在容纳架上，第一放置支架和第二放置支架的滑动方向相反。本申请具有提高晶圆片涂布机的适用范围的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种具有通用功能的晶圆片涂布机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022246768.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-10
授权号 ：
CN213409275U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
戚孝峰周鹏程王哲琦
申请人 ：
争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
苏利
优先权 ：
CN202022246768.0
主分类号 ：
B05C13/02
IPC分类号 ：
B05C13/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法，如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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