一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备
授权
摘要
本实用新型提供一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,涉及清洗设备技术领域,包括外壳,所述外壳的内壁底部焊接有水箱,所述水箱的正表面开设有进水口,所述水箱的内部安装有过滤网,所述水箱的左侧开设有圆孔,且圆孔内表面贯穿安装有上水管,所述水箱的顶部开设有污水口,所述水箱的顶部固定安装固定板,所述水箱的顶部焊接有第一滑道,所述水箱的顶部焊接有第二滑道。本实用新型中,喷淋器将水往下喷淋,可以将晶圆进行清洗,水在喷淋时挡水板可以将喷淋的水通过污水口收集到水箱内部,水箱内部的过滤网可以对污水进行过滤,可以使水循环利用,挡水板可以阻挡水不伤害电机。
基本信息
专利标题 :
一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022267658.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-13
授权号 :
CN214417052U
授权日 :
2021-10-19
发明人 :
张峰
申请人 :
西安重光明宸检测技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区丈八街办瞪羚路26号西安理工大学科技园E座312-05
代理机构 :
西安弘理专利事务所
代理人 :
燕肇琪
优先权 :
CN202022267658.2
主分类号 :
B08B1/00
IPC分类号 :
B08B1/00 B08B3/02 B08B3/14 B08B11/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2021-10-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载