一种适用硅晶圆涂胶清洗的旋转摆臂机构
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摘要
本实用新型公开了一种适用硅晶圆涂胶清洗的旋转摆臂机构，包括安装座以及位于所述安装座上的摆臂组件；所述安装座上设置有上层块与下层块，所述摆臂组件包括驱动马达与由所述驱动马达驱动的摆臂转轴，所述驱动马达通过马达固定板与所述安装座连接，所述摆臂转轴通过同步带结构与所述驱动马达连接，所述摆臂转轴为空心结构体，所述摆臂转轴一端通过上层轴承与所述上层块连接，所述摆臂转轴另一端通过下层轴承与所述下层块连接。本实用新型的摆臂转轴采用上层轴承与下层轴承进行导向，保证了摆臂转轴的跳动精度，摆臂转轴的中空实现了传输管道的同轴转动，马达固定板上的限位开关，精确控制了摆臂转轴的来回摆动角度。
基本信息
专利标题 ：
一种适用硅晶圆涂胶清洗的旋转摆臂机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022279885.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-14
授权号 ：
CN213856211U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
胡剑
申请人 ：
苏州汉立光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区春辉路11号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022279885.7
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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