卡盘及采用所述卡盘的键合设备
授权
摘要
本实用新型提供一种卡盘及采用所述卡盘的键合设备，所述卡盘包括：盘体，在所述盘体上设置有多个真空吸附区，多个所述真空吸附区至少沿两个径向方向排布；控制装置，与所述真空吸附区关联，用于控制不同径向方向的真空吸附区彼此独立地运行。本实用新型的优点在于，能够控制不同径向方向的真空吸附区彼此独立地运行，互不影响，从而可实现不同径向方向上晶圆位置调整的单独控制，能够精确地调整晶圆的位置，提高晶圆对准精度。
基本信息
专利标题 ：
卡盘及采用所述卡盘的键合设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022292601.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN212967659U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
孟文钱刘淼田然
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN202022292601.8
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/68 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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