一种键合设备及键合方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种键合设备和键合方法，涉及键合设备技术领域，键合设备包括：供给片传输系统、键合片传输系统、键合系统和表面活化系统；供给片传输系统用于向键合系统内传输供给片，键合片传输系统用于向键合系统内传输键合片；表面活化系统通过高能光源对供给片和键合片的待键合面进行表面活化处理；键合系统用于将经过活化的键合片键合于经过活化的供给片上并形成半成品片或成品片；表面活化系统还能够通过高能光源对半成品片的待键合面进行活化，键合系统还用于将经过活化的键合片键合于经过活化的半成品片上。本发明提供的方案适用于需多层键合完成的复合材料，制备周期短、效率高且便于对热膨胀系数差异较大的材料进行键合。
基本信息
专利标题 ：
一种键合设备及键合方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114536934A
申请号 ：
CN202210228293.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郑丽和赵建斌杨洁
申请人 ：
云南大学
申请人地址 ：
云南省昆明市翠湖北路2号
代理机构 ：
北京高沃律师事务所
代理人 ：
赵丽恒
优先权 ：
CN202210228293.3
主分类号 ：
B32B37/00
IPC分类号 ：
B32B37/00 B32B38/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B32
层状产品
B32B
层状产品，即由扁平的或非扁平的薄层，例如泡沫状的、蜂窝状的薄层构成的产品
B32B37/00
用于层压的方法和装置，例如，通过固化或通过超声黏接
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B32B 37/00
申请日 : 20220310
申请日 : 20220310
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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