本实用新型涉及晶圆片加工技术领域，尤其是一种晶圆片加工用碎屑收集装置，包括收集壳，所述收集壳内侧通过固定板固定安装有安装盒，所述安装盒内部一侧固定安装有电机，所述电机控制输出上端固定安装有第一皮带轮，所述安装盒内部另一侧转动设有转动轴，所述转动轴中部固定安装有第二皮带轮，所述第二皮带轮通过皮带与所述第一皮带轮传动相连，所述转动轴上端贯穿延伸至所述安装盒上方并固定安装有转盘，所述转盘两侧均固定安装有套接凸缘，该装置使用效果好，值得推广。