一种晶圆片加工用粉尘收集装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及粉尘收集技术领域,尤其是一种晶圆片加工用粉尘收集装置,包括箱体,所述箱体底部四侧均安装有支柱,所述箱体底部一侧安装有出水口,所述箱体底部中间安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端安装有往复螺杆,所述往复螺杆伸入所述箱体内部,且所述往复螺杆位于所述箱体内部的一端安装有移动座,所述移动座与所述往复螺杆之间转动连接,所述移动座沿周向均匀安装有多个连杆,所述连杆另一端固定有安装框,所述安装框为矩形框,且所述箱体内壁与所述安装框之间相抵触,所述安装框四侧顶部均开有安装槽,所述安装槽内部安装有过滤机构,本实用新型结构简单,操作方便,方便完成对粉尘的收集。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆片加工用粉尘收集装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022300090.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
CN213885396U
授权日 :
2021-08-06
发明人 :
卢凯韦胜盛育
申请人 :
苏州百克晶电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022300090.X
主分类号 :
B01D46/10
IPC分类号 :
B01D46/10  B01D46/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器,如聚尘器
法律状态
2022-05-24 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B01D 46/10
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州百克晶电子科技有限公司
变更后 : 百克晶半导体科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
变更后 : 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹西路99号3幢B区1楼106、109室
2021-08-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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