一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，包括安装座、石英管、弧形盖板、连接杆和液压推杆，所述安装座之间插设安装有石英管，所述石英管两侧分别设有对应的弧形盖板，所述弧形盖板内侧包覆有高温玻璃布，所述弧形盖板外侧顶部和顶部均通过螺栓固定安装有弧度安装板。通过高温玻璃布的使用，可有效降低真空离子发生器工作瞬时启动的高温对石英管的伤害，能够避免石英管爆裂，增长其使用寿命，减少机台维护频率，具有较高的实用性，且人员可在不接触石英管的情况下，对弧形盖板进行推送盖设，完成防护作业。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022313523.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-17
授权号 ：
CN213596463U
授权日 ：
2021-07-02
发明人 ：
英浩
申请人 ：
连云港保康石英制品有限公司
申请人地址 ：
江苏省连云港市东海县驼峰新区323省道北，236省道西侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022313523.5
主分类号 ：
C30B29/36
IPC分类号 ：
C30B29/36 C30B23/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2021-07-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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