一种用于半导体加工设备的控制机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于半导体加工设备的控制机构，包括：控制器壳体、盖体、用于固定电路板的安装单元、通风冷却单元、显示单元。通过上述方式，本实用新型一种用于半导体加工设备的控制机构，不仅可以更加快捷方便的对电路板进行拆装，而且还可以调节显示器的角度和位置，功能多样，方便使用。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体加工设备的控制机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022432863.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-28
授权号 ：
CN214852341U
授权日 ：
2021-11-23
发明人 ：
孙大钊
申请人 ：
苏州想启电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区经济开发区越溪街道溪霞路29号3幢306室
代理机构 ：
苏州广正知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘晓月
优先权 ：
CN202022432863.X
主分类号 ：
H05K7/14
IPC分类号 ：
H05K7/14 H05K5/02 H05K5/03 H05K5/00 H05K7/20 H01L21/67
法律状态
2021-11-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
