转接组件和气相沉积设备
授权
摘要

本实用新型提供了一种转接组件和气相沉积设备,其中,转接组件包括承载架;连接部,连接部设置于承载架上,连接部上设置有多个连接件;液体分配组件,液体分配组件通过连接件与连接部相连接;气体分配组件,气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型提供的转接组件,实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置,进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接,从而使得在对设备进行安装时,无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装,直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口,即可实现液体和气体分配管路的安装布置,简化了设备的安装过程,降低了安装成本。

基本信息
专利标题 :
转接组件和气相沉积设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022452310.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
CN213576138U
授权日 :
2021-06-29
发明人 :
左国军梁建军柳昆鹏
申请人 :
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 :
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
尚志峰
优先权 :
CN202022452310.0
主分类号 :
F16L41/03
IPC分类号 :
F16L41/03  C23C14/00  C23C16/00  
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L41/00
支线管路;管子与壁的连接
F16L41/02
支管的部件,如做成1个焊接件或铆接件
F16L41/03
包含用于4个或更多管子的汇交管接头
法律状态
2021-06-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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