SiC籽晶及其制造方法、使该SiC籽晶进行生长而得到的S...
公开
摘要
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够实现高品质的SiC籽晶、SiC晶锭、SiC晶片和具有外延膜的SiC晶片的新颖技术。本发明是一种用于SiC晶锭生长的SiC籽晶的制造方法，其具有：热处理步骤(S1)，在包含Si元素和C元素的气氛下对SiC单晶体(10)进行热处理。这样，通过在包含Si元素和C元素的气氛下对SiC单晶体(10)进行热处理，可以制造高品质的SiC籽晶(11)。
基本信息
专利标题 ：
SiC籽晶及其制造方法、使该SiC籽晶进行生长而得到的SiC晶锭及其制造方法、以及由该SiC晶锭制造的SiC晶片、具有外延膜的SiC晶片及它们的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114430781A
申请号 ：
CN202080055202.X
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金子忠昭小岛清
申请人 ：
学校法人关西学院;丰田通商株式会社
申请人地址 ：
日本国兵库县
代理机构 ：
北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
方挺
优先权 ：
CN202080055202.X
主分类号 ：
C30B23/06
IPC分类号 ：
C30B23/06 C30B29/36 C30B33/12 H01L21/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
C30B23/02
外延层生长
C30B23/06
沉积室、衬底或欲蒸发材料的加热
法律状态
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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