杂质扩散组合物、使用了该杂质扩散组合物的半导体元件的制造...
实质审查的生效
摘要

本发明的目的是提供能够实现向半导体基板的均匀的杂质扩散、和丝网印刷时的优异的连续印刷性的杂质扩散组合物。为了达到上述目的,本发明的杂质扩散组合物具有以下构成。即,一种杂质扩散组合物,其包含(A)聚乙烯醇、(B)杂质扩散成分、和(C)硅氧烷,(A)聚乙烯醇的皂化度为20摩尔%以上且小于90摩尔%,(C)硅氧烷包含特定的部分结构。

基本信息
专利标题 :
杂质扩散组合物、使用了该杂质扩散组合物的半导体元件的制造方法及太阳能电池的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114342101A
申请号 :
CN202080061387.5
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-09-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
北田刚弓场智之秋本旭
申请人 :
东丽株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
马妮楠
优先权 :
CN202080061387.5
主分类号 :
H01L51/48
IPC分类号 :
H01L51/48  H01L51/46  
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/48
申请日 : 20200918
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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