晶片检验方法和系统
公开
摘要
晶片检验方法和系统包括将经获取图像转换为多边形链表示(21)。多边形链表示被转换为特征向量(23)。将特征向量与基于设计数据(26)获得的其他特征向量进行比较。
基本信息
专利标题 ：
晶片检验方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114365183A
申请号 ：
CN202080063193.9
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J.C.萨拉斯瓦图拉P.胡思沃尔
申请人 ：
卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请人地址 ：
德国上科亨
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202080063193.9
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T7/11 G06T7/136
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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