基于标准气缸的晶圆磨削吸附平台
实质审查的生效
摘要

本发明公开一种基于标准气缸的晶圆磨削吸附平台,属于晶圆加工技术领域,包括底座、转接盘、顶升盘、驱动电机、旋转接头和顶升气缸,顶升盘活动设置在底座上,底座和转接盘固定连接,驱动电机与转接盘连接,顶升盘、旋转接头和顶升气缸依次连接,顶升气缸驱动顶升盘上升,使晶圆与吸附平台脱离,在底座上设置有实现晶圆吸附的真空吸附槽。本发明在顶升气缸与顶升盘之间设置旋转接头,旋转接头作为传输气源气体的转接通道,不限制气体管路的连接方式,可实现吸附平台的不限角度的多圈旋转,为改进和尝试多种磨削工艺提供条件,同时提高磨削精度和品质,提高了晶圆加工精度,减少崩边现象的发生,明显提高成品率,提高产量。

基本信息
专利标题 :
基于标准气缸的晶圆磨削吸附平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114454023A
申请号 :
CN202110226963.3
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-03-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
许剑锋侍大为张建国郑正鼎于世超
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
南京申云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
田沛沛
优先权 :
CN202110226963.3
主分类号 :
B24B9/06
IPC分类号 :
B24B9/06  B24B41/00  B24B41/02  B24B41/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置;其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的,如石头,陶瓷制品,瓷器
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 9/06
申请日 : 20210301
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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