本发明公开一种凸轮驱动的晶圆定位及托起装置，包括定位装置和托起装置，定位装置包括驱动电机、凸轮板和定位传动组件，定位传动组件一端连接凸轮板上的凸轮槽，另一端设置浮动定位指，驱动电机通过传动机构带动凸轮板旋转，从而带动浮动定位指沿径向向内运动，实现晶圆精准定心，随后托起装置对晶圆进行夹取和托起。本发明采用一组驱动机构带动多个浮动定位指运动，同步性好，实现对晶圆高精度定心。驱动盘内的弹簧可实现力矩缓冲和扭矩限制，弹簧将传动刚度降低，使扭矩呈线性变化，限制接触晶圆的力，有效避免晶圆破碎。采用浮动定位指，通过其伸缩使晶圆下降时尽可能靠近放置面，防止晶圆放置产生偏差或损伤。