用于半导体封装的一体化封装装置及封装方法
授权
摘要

用于半导体封装的一体化封装装置及封装方法,它为了解决现有半导体封装装置只能适用于传统的胶封和塑封的封装方式,封装效率低的问题。本发明一体化封装系统中在送给箱中装有多个格盘,在格盘中装有黄铜法兰、裸片和互联带件,送给箱和输出收纳箱分别放置于一体化封装系统的两侧,在送给箱和输出收纳箱之间设置有履带,在送给箱和输出收纳箱之间由左至右依次设置有等离子体清洗机、吸附装置、第一检测镜、激光打标机、焊料机和第二检测镜,在第一检测镜的下方设置有加热底板,加热底板的底部设置有升降装置。本发明半导体封装装置完成键合铜带、黄铜法兰和封装盖一站式半导体的封装操作,提高热稳定性和可靠性,增加封装效率。

基本信息
专利标题 :
用于半导体封装的一体化封装装置及封装方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113948427A
申请号 :
CN202111202897.2
公开(公告)日 :
2022-01-18
申请日 :
2021-10-15
授权号 :
CN113948427B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
王琮
申请人 :
王琮
申请人地址 :
山东省青岛市市北区福州路东小区42号楼1单元501
代理机构 :
哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司
代理人 :
侯静
优先权 :
CN202111202897.2
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-15 :
授权
2022-02-08 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20211015
2022-01-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332