本发明公开一种分步式晶圆定位及托起装置，包括均布在底板上的驱动装置、托起装置和定位装置，驱动装置包括步进电机和拉板，定位装置包括定位指安装架和浮动定位指，拉板一端连接步进电机，另一端连接浮动定位指，同时拉板浮动连接托起装置，步进电机正向运动，带动浮动定位指沿晶圆径向向内运动，实现晶圆定心，步进电机持续正向运动，拉板带动托起装置向心运动，托起装置收紧后对晶圆进行托举。本发明采用三台步进电机同时对呈120度设置的定位和托举装置操作，可以保证高同步性和定位准确性。放置晶圆时，浮动定位指首先接触放置平台，大大减小了晶圆自由落体的行程，减小了放置偏差，同时也减缓了接触的冲击力，防止晶圆损伤。