本发明公开了一种在线式半导体真空等离子处理设备，包括第一滑块、底板、万向脚轮、活动门板和报警三色灯底座，所述第一滑块顶部连接有第一推料杆，所述多层料盒底部设置有升降台，所述传送带输送轨道上方设有扫码装置，所述传送带输送轨道底部滑动连接有第三滑轨，所述底板下方设置有升降底板，所述底板底部滑动连接有第四滑轨，所述升降底板底部滑动连接有第五滑轨，所述顶升机构上方安装有清洗腔体。本发明通过设计的第一推料杆、升降台、多层料盒、第二推料杆、底板、升降底板、顶升机构和清洗腔体，构成了一套自动化的设备，既可对产品进行自动上料和下料，还可让产品在真空等离子系统进行全方位的清洗，提高清洗的效果。