双色异质结光电晶体管及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种双色异质结光电晶体管，包括：衬底；外延层，设置于衬底上，外延层包括缓冲层、刻蚀终止层、第一接触层、第一异质结结构、第二接触层、第二异质结构和第三接触层，第一接触层上设有第一台阶，第二接触层上设有第二台阶；金属电极，包括第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极，第一金属电极设置于第一台阶上，第二金属电极设置于第二台阶上，第三金属电极设置于第三接触层上；以及钝化层，覆盖于部分第一台阶、第二台阶和部分第三接触层，钝化层与金属电极相接。
基本信息
专利标题 ：
双色异质结光电晶体管及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114335232A
申请号 ：
CN202111539243.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林芳祁牛智川徐应强王国伟李农周文广蒋洞微蒋俊锴常发冉陈伟强李勇
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张博
优先权 ：
CN202111539243.9
主分类号 ：
H01L31/11
IPC分类号 ：
H01L31/11 H01L31/18
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/11
申请日 : 20211215
申请日 : 20211215
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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