一种全穆勒矩阵椭偏仪的双电机自动变角系统结构
实质审查的生效
摘要

本发明属于椭偏仪技术领域,具体涉及一种全穆勒矩阵椭偏仪的双电机自动变角系统结构,所述起偏臂整体结构设置在底板上,所述底板上设置有第一步进电机,所述第一步进电机上设置有检偏臂整体结构,所述检偏臂整体结构上设置有样品载物台结构。本发明采用卧式的结构方式,两臂的转轴处则基本不承受径向扭矩,仅提供角度旋转的扭矩即可,精度控制难度较低,且承载样品时去除了繁琐的真空吸附装置,采用了利用磁铁进行夹持样品的方式,结构简单,且易于实现。另外本发明是分别采用两个步进电机带动的检偏臂和样品台旋转,起偏臂固定,这种方式减小了起偏臂旋转时因抖动而造成的系统测量误差,极大地提高了穆勒矩阵椭偏仪的测量精度。

基本信息
专利标题 :
一种全穆勒矩阵椭偏仪的双电机自动变角系统结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264616A
申请号 :
CN202111580012.2
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
薛鹏刘政杰张瑞林聪李孟委
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 :
太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
连慧敏
优先权 :
CN202111580012.2
主分类号 :
G01N21/21
IPC分类号 :
G01N21/21  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20211222
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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