本发明提供了铝合金部件制造方法及半导体反应腔，包含：将铝合金进行锻造或热轧；在所述锻造或所述热轧的过程中，藉由控制变形度及/或制造温度以构成复数个铝合金部件，所述等铝合金部件至少为配置于所述半导体反应腔中的一上极板、一下极板、一档板、输送氟离子的一管路及所述半导体反应腔之内壁的其中之一者；其中，在一使用所述氟离子清洗半导体反应腔的过程中，所述等铝合金部件的表面与所述氟离子反应形成氟化铝。本发明能有效减少氟化铝的增长速度，使铝合金部件有更长的使用寿命。此外，本发明还提供了一种半导体反应腔。