一种自动装配的半导体器件蚀刻装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种自动装配的半导体器件蚀刻装置,包括箱体,箱体为中空矩形结构,箱体的顶面为敞口,所述箱体的顶面可拆卸的设置有顶盖,通过将顶盖取下,将半导体器件放在放置板上,向下拉动两侧的滑动块,使得滑动块位于最下方,向内推动两侧的伸缩柱,伸缩柱通过卡块在内槽上向内移动,将伸缩柱接触到器件,此时弹簧释放弹力将伸缩柱向外推动并将器件紧紧固定住,盖上顶盖,将蚀刻液管与通管连接,并将水管与进液管相连,打开蚀刻液管,蚀刻液通过通管流动进入环形管内并通过喷头流出,启动主电机,主电机的轴转动带动顶盘转动,顶盘转动带动器件不断的转动,此时喷头流出的蚀刻液对器件进行蚀刻,从而使器件可以得到均匀的蚀刻。

基本信息
专利标题 :
一种自动装配的半导体器件蚀刻装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114361072A
申请号 :
CN202111651800.6
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李志宏李佚林孙鹏程刘晓利
申请人 :
江苏搏灵顿科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市崇州大道60号南通创新区紫琅科技城10A号楼908室
代理机构 :
温州知西思悟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
姚丙乾
优先权 :
CN202111651800.6
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/306  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20211230
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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