本发明公开了一种高精度晶圆切割定位装置及晶圆切割机，包括基座和滑动设置于基座顶部的滑框，所述滑框的顶部设置有转动框，所述转动框的内部固定连接有支撑板，所述支撑板上设置有晶圆支撑组件；所述支撑板上滑动设置有限位柱，而在转动框的顶部滑动设置有限位块，当滑框向上移动将限位柱顶起时；通过带动吸板和滑框向上移动，当吸板向上移动逐渐接触限位柱时，可以带动限位柱向上移动，当限位柱向上移动并逐渐与支撑座的外圆周面抵紧时，通过限位柱可以带动支撑座向上移动，从而使得支撑座的顶部与限位块相抵紧，通过限位柱与限位块的配合可以对支撑座和晶圆进行定位和固定，进而有利于对晶圆进行切割。