一种用于光电芯片外延生长的MOCVD吸尘装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于光电芯片外延生长的MOCVD吸尘装置，包括鼓风机、手套箱、第一桶体、过滤机构以及管道，管道包括第一管道和第二管道，手套箱上设有安装孔，第一桶体设置在安装孔中并伸出手套箱，过滤机构包括支脚、设置在支脚上的托盘、设置在托盘上的滤筒、设置在滤筒内的滤芯以及设置在滤筒的上端的端盖，托盘上设有与滤芯配合的定位管部，滤芯的下端套置在定位管部上，定位管部与所述第二管道的进口端连通，第二管道的出口端与鼓风机的进口端连接，滤芯夹设在托盘与端盖之间，第一管道的进口端与第一桶体的出口端连接，第一管道的出口端与滤筒的内腔连通，第一管道上设有第一控制阀，第二管道上设有第二控制阀。本实用新型具有拆装方便、处理效率高的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于光电芯片外延生长的MOCVD吸尘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120380726.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-02-19
授权号 ：
CN216537473U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
袁小林
申请人 ：
福建慧芯激光科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号
代理机构 ：
泉州市文华专利代理有限公司
代理人 ：
陈云川
优先权 ：
CN202120380726.8
主分类号 ：
B01D46/24
IPC分类号 ：
B01D46/24 B01D46/88 B08B15/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/24
采用刚性空心滤体的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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