一种具有温度控制结构的半导体器件检测装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种具有温度控制结构的半导体器件检测装置,涉及到半导体器件检测设备领域,包括检测箱,检测箱的上表面固定连接有检测器,检测箱的内腔中部设置有两个呈对称分布的夹紧块,夹紧块设置为水平放置的V字型,夹紧块的一侧面中部固定连接有空心连接杆,空心连接杆的外侧壁设置为正多边形,空心连接杆的一端外侧活动套接有与空心连接杆相适配的空心套杆。本实用新型通过在空心轴的中部通过轴承活动套接有滑块,滑块能够沿通槽的长度方向滑动,进而带动半导体器件移动,空心轴与滑块之间能够相对转动,进而保证半导体器件可以翻转,因此本装置能够对半导体器件进行全面检测,提高了检测的效率。

基本信息
专利标题 :
一种具有温度控制结构的半导体器件检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121967477.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-20
授权号 :
CN216485348U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
栗军帅郑海洋
申请人 :
坤天微电子(无锡)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山经济技术开发区荟智企业中心锡沪东路588号2号楼206室
代理机构 :
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
翁斌
优先权 :
CN202121967477.9
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26  G01R1/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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