一种量具
授权
摘要
本申请公开了一种量具，用于对气体阻挡环的栅格进行测量，量具包括第一分部、第二分部以及连接部；第二分部与第一分部相对设置，且与第一分部相间隔；第二分部通过连接部与第一分部连接；其中，第一分部包括靠近第二分部的第一侧面，第二分部包括靠近第二分部的第二侧面，第一侧面与第二侧面平行设置。利用量具对栅格进行测量时，通过测量气体阻挡环的内圈是否可以插入第一侧面与第二侧面之间，即可确定测量位置处的栅格的宽度尺寸是否符合规定，通过该测量方法可以对内圈的各部位进行测量，从而可以完成所有栅格的测量，从而可以防止因栅格的宽度变大影响晶圆的正常生产。
基本信息
专利标题 ：
一种量具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122039193.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-26
授权号 ：
CN216671558U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
陈宇杨文柏
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京恒博知识产权代理有限公司
代理人 ：
张琦
优先权 ：
CN202122039193.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 G01B5/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
