一种用于栅极分隔线的刻蚀机构
授权
摘要
本申请公开了一种用于栅极分隔线的刻蚀机构，刻蚀机构包括接地件、第一电极件、至少一个绝缘件以及第二电极件。绝缘件位于接地件与第一电极件之间，以使第一电极件与接地件之间具有间隙，避免第一电极件与接地件接触使第一电极件的电势降低，导致第一电极件的等离子体的密度降低。绝缘件与接地件和/或第一电极件连接，且使接地件的中轴线与第一电极件的中轴线共线；第二电极件与第一电极件对应设置，且两者之间形成操作空间。同时第一电极件与接地件之间设置有距离合适的间隙，使第一电极件与接地件感应连通，进而将第一电极件上的静电通过接地件与大地连通，避免第一电极件上带有过多的静电，击穿堆叠结构中的晶片，导致堆叠结构的损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种用于栅极分隔线的刻蚀机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122076307.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-30
授权号 ：
CN216624198U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
完颜俊雄单静静张光轩高毅豆海清
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京恒博知识产权代理有限公司
代理人 ：
张琦
优先权 ：
CN202122076307.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 H01L21/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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