本实用新型提供一种用于化学气相沉积设备的基座去除沉积物的清洁装置，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括清洁装置本体，所述清洁装置本体的进水端通过法兰连接有连接管。本实用新型通过在缓冲板的作用下，可以有效地降低水流速度，防止水流过快对过滤网板造成损坏，在漏斗型槽的作用下，可以收集过滤网板过滤下来的异物颗粒进行收集，同时在L型块的作用下，可以防止T型槽内部的水从漏斗型槽流进第一凹槽的内部，在收集槽块和U型拉环的配合下，可以将漏斗型槽内部收集的异物颗粒收集起来，结构简单，使用效果好，有效地提高了过滤网板的使用寿命，继而提高了清洁装置本体的使用寿命。