本实用新型提供一种暗场半导体晶圆检查装置，包括：支撑脚、暗场检测主体、上料台、上料机构、警报器、显示屏、变倍镜机构、计算机、支撑柱、操作台以及键盘抽屉，所述操作台设置在暗场检测主体右侧，所述暗场检测主体、操作台下端均设有支撑脚，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置操作台，使得操作台与暗场检测主体一体设置，节约生产空间，避免工作人员来回移动进行工作，提升工作效率，键盘抽屉的设计，便于放置计算机键盘，同时便于将计算机键盘隐藏，在不使用键盘时，能够节约操作空间，避免误碰到键盘。