一种具有定位槽的硅光芯片
授权
摘要
本实用新型提供了一种具有定位槽的硅光芯片，涉及半导体生产技术领域，通过在侧壁加工出定位槽与光纤端面耦合，能够提高对准精度，提高硅光芯片晶圆利用率，降低成本；该硅光芯片的侧壁设有至少一个用于实现光纤与波导耦合且对所述光纤具有定位作用的定位槽；所述定位槽与所述波导一一对应设置，所述波导的端面与所述定位槽内底端面的距离不超过5μm；所述光纤的待耦合端置于所述定位槽内；耦合时，将所述硅光芯片贴装在PCBA基板的上表面，将待耦合光纤固定在特定厚度的玻璃基板的上表面，将相较于所述玻璃基板突出的光纤的端部插入对应的定位槽中实现耦合。本实用新型提供的技术方案适用于半导体生产的过程中。
基本信息
专利标题 ：
一种具有定位槽的硅光芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122495604.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
CN216210065U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
孙旭李操林天营胡朝阳
申请人 ：
苏州海光芯创光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区平胜路1号
代理机构 ：
北京金智普华知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐会娟
优先权 ：
CN202122495604.6
主分类号 ：
G02B6/42
IPC分类号 ：
G02B6/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/24
光波导的耦合
G02B6/42
光波导与光电元件的耦合
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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