本实用新型描述一种具有清洁机构的晶圆涂布设备，其包括支承晶圆的支承机构、向晶圆供给浆料的供料机构、驱动供料机构的驱动机构、以及清洁支承机构的清洁机构，支承机构包括承载晶圆的托盘、以及驱动托盘转动的转动部，供料机构具有容纳浆料的腔室、以及连通于腔室的料口，料口的长度不小于晶圆的直径，驱动机构以使料口沿着规定方向由支承机构的一侧移动到相对的另一侧的方式驱动供料机构，清洁机构具有运动部、以及连接于运动部的清洁部，运动部驱使清洁部至少部分地抵接于托盘的上表面。根据本实用新型，能够方便地对承载晶圆的托盘进行清洁。