一种硅片放置料框、插片设备
授权
摘要
一种硅片放置料框，包括：包括：架体；以及置于所述架体内侧的夹棍和低杆；所述夹棍可沿所述架体宽度方向移动，以夹固所述硅片放置于所述低杆上，或松开所述硅片准备进行分片。本实用新型还提出一种采用该硅片放置料框的插片设备。本实用新型仅需控制推杆再通过限位块调整夹棍的转动角度，即可在清洗或转运过程中夹紧硅片立面，以使硅片稳定地立放在料框中，并可在需要插片时调整夹棍以松开硅片，达到分片的目的，整体结构简单且易于控制，清洗时清洗液回流通畅，亦可保证硅片放置稳定，也不会出现倒片，清洗效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片放置料框、插片设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122678343.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-04
授权号 ：
CN216174811U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
靳立辉耿名强杨骅姚长娟赵晓光尹擎杨鹏杨杰高洁
申请人 ：
天津环博科技有限责任公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业区华科大街1号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN202122678343.1
主分类号 ：
B08B3/10
IPC分类号 ：
B08B3/10 B08B13/00 H01L21/673 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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