人造金刚石离子溅射仪用稳流模块
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摘要
本实用新型属于人造金刚石的离子溅射仪技术领域，特别涉及一种人造金刚石离子溅射仪用稳流模块，包括依次连接的变压器、电桥和稳流电路，稳流电路包括：电阻R1～R11、电容C3～C6、晶体管VT1～VT5、可变电阻器RP、二极管D1～D4；R1和R2串联后耦合于输入端的正/负极之间；VT1的栅极与R1和R2公共端连接；R3耦合于VT1的漏极与VT2的漏极之间；R4耦合于VT1的栅极和漏极之间；R5耦合于VT1的栅极和VT3的源极之间；R6耦合于VT3的栅极和VT4的栅极之间；R7耦合于VT1的源极与VT4的漏极之间；R9和R8均耦合于VT5的漏极和输入端的负极之间。本实用新型的稳流模块，稳流效果好，结构简单，造价低，功耗小。
基本信息
专利标题 ：
人造金刚石离子溅射仪用稳流模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122754306.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216290689U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
张淑君秦少辉安超
申请人 ：
新郑市理查德科技有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市新郑市薛店镇中德产业园28#号楼1单元104号3层301
代理机构 ：
郑州超仁邦专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黎晓丹
优先权 ：
CN202122754306.4
主分类号 ：
H02M3/158
IPC分类号 ：
H02M3/158 H02M1/088
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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