一种制备三角形二硫化钼薄膜的设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种制备三角形二硫化钼薄膜的设备，包括工作台、石英管和过滤器，所述工作台顶端一侧中间位置处通过支撑座安装有石英管，所述工作台顶端背离石英管一侧中间位置处安装有过滤器，所述石英管一侧中间位置处通过输送管连接于过滤器一侧，所述石英管内部底端中间位置处安装有原料板，所述过滤器背离石英管一侧靠近顶端位置处安装有排气管，所述石英管顶端一侧中间位置处安装有输气管。本实用新型解决了现有装置原料位置采用固定放置，无法在生产过程中，调整原料所在位置，调试生产便捷性不佳，且反应过程中，极易产生酸性废气，不经处理直接排放，使用环保效果不佳的问题，提高了本实用新型的调试便捷性和环保效果。
基本信息
专利标题 ：
一种制备三角形二硫化钼薄膜的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122843137.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
CN216614839U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
任斌薛燕
申请人 ：
江苏籽硕科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市医药高新技术产业开发区经济开发区创新创业产业园三期4号电子厂房1层、2层
代理机构 ：
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙峰
优先权 ：
CN202122843137.1
主分类号 ：
C23C16/30
IPC分类号 ：
C23C16/30 C23C16/448 B01D53/75 B01D53/78
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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