一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架
授权
摘要
本实用新型提供一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，用于固定传感器，以配合检测机械臂上是否有晶圆；包括机械臂固定单元，传感器固定单元，第一传感器固定架，第二传感器固定架，传感器和设备固定总成；机械臂固定单元固定在所述设备固定总成上；传感器固定单元固定在所述机械臂固定单元的侧面；第二传感器固定架固定在设备固定总成的侧面，位于传感器固定单元的下方；机械臂固定单元自上至下平行设置有多个机械臂固定板，每个机械臂固定板上固定一个机械臂。本实用新型采用高强度铝制成，不易受高温变形，硬度高，洁净度高，安装位置与原厂匹配，便于更换，位置并可以微量调整，解决了原厂无法调整的缺陷。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123013069.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
CN216682202U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
程宪良
申请人 ：
无锡诺莱德智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放街道经发九路1号
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
张秀芳
优先权 ：
CN202123013069.2
主分类号 ：
B25J11/00
IPC分类号 ：
B25J11/00 G01D11/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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