本实用新型公开一种蚀刻机，包括下电极和绝缘件，绝缘件设置在下电极的外周侧面，下电极的顶面且邻近于下电极的外周侧面凹陷设置有安装台阶，绝缘件的顶部连接有第一防护分体，安装台阶上安装有第二防护分体，第一防护分体部分延伸至安装台阶上与第二防护分体连接，下电极的顶面用于放置基板，第二防护分体位于基板边缘的正下方。第一防护分体和第二防护分体相互独立，当第一防护分体会因绝缘件的受热膨胀而上升时不会影响到第二防护分体，由于第二防护分体不会因绝缘件的膨胀而上升，设置于下电极顶面上基板的边缘区域也不会与其下方的第二防护分体相接触，第二防护分体与基板的边缘区域之间的间距能保持稳定，从而保障蚀刻的正常进行。