本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种半导体生产用晶圆清洗装置，包括清洗箱和弧板，所述弧板设置有两个，两个弧板置于清洗箱内部的两侧，且弧板通过连杆固定在清洗箱的内部，所述清洗箱的底部中间位置安装有电动推杆，电动推杆的上方贯穿至清洗箱的内部，且电动推杆的顶部通过固定板固定有支撑板。本实用新型通过在清洗箱内部两侧固定可以支撑晶圆的弧板，在两侧弧板之间的清洗箱下部通过电动推杆安装可升降的支撑板，清洗晶圆时使支撑板被升起，可以使晶圆方便的置于支撑板的支槽内，然后再带动其下降高度使其置于弧板的支槽内进行清洗工作，清洗完毕后再通过支撑板被支撑取出，方便了对晶圆的放入和取出工作。