一种半导体圆晶清洗装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗装置,包括顶部开口的箱体,箱体的内壁上开设有两条以上均沿着箱体高度方向布置的条形槽;条形槽的顶部均布置有第一防水电机,第一防水电机的驱动轴与沿条形槽方向布置的丝杆的一端连接且两者共轴,丝杆的另一端与条形槽底部固定,丝杆外与螺母螺纹配合,通过螺母与布置在箱体中部的横板固定连接;横板靠近箱体顶部开口侧开有凹槽,凹槽内设有第二防水电机,第二防水电机与转盘连接,转盘上布置有放置盒,放置盒开有多条用于放置待清洗半导体圆晶的放置槽;箱体内布置有多个用于喷洒清洗液的喷头,箱体底面上开有出液口。本实用新型,清洗质量高,清洗效率高,同时其结构简单,成本低廉,极具应用前景。

基本信息
专利标题 :
一种半导体圆晶清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020290423.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-10
授权号 :
CN212093424U
授权日 :
2020-12-08
发明人 :
钟宇航卢玲儿袁红春刘子义陈慧妍
申请人 :
上海海洋大学
申请人地址 :
上海市浦东新区临港新城沪城环路999号
代理机构 :
上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩松
优先权 :
CN202020290423.2
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-12-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332