一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，包括搅拌缸、搅拌电机、搅拌桨、硬质套管、第一输液软管、蠕动泵、循环过滤装置、第二输液软管和回液循环泵；搅拌缸的顶部设有端盖；搅拌电机安装在端盖中央，搅拌桨位于搅拌缸内侧，搅拌桨的顶部穿出端盖与搅拌电机的转轴连接；搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形；硬质套管位于搅拌缸内侧、且可拆卸连接在端盖上；第一输液软管一端穿过硬质套管伸入搅拌缸的底部、另一端分支为第一支管和第二支管；第一支管与蠕动泵的进料口连通；回液循环泵安装在端盖上，第二支管、循环过滤装置、第二输液软管、回液循环泵和搅拌缸依次连通。上述装置解决了卡死问题，提高了研磨质量。
基本信息
专利标题 ：
一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123168539.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216498811U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
周锐刘桂勇刘兴达刘于柯尊斌王卿伟
申请人 ：
中锗科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市溧水开发区中兴东路9号
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN202123168539.2
主分类号 ：
B01F27/90
IPC分类号 ：
B01F27/90 B01F35/71 B01F35/75 B01F25/50 B01F23/80 B01D29/33 B24B57/02 B24B57/00
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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