本实用新型提供一种掩模缺陷检测装置，包括：承载组件，包括升降台和围绕所述升降台的固定台；承片组件，包括底板及扣合在所述底板上的保护罩，所述底板与所述保护罩之间通过锁扣连接，所述底板位于所述升降台上且用于承载掩模版，所述保护罩的侧壁位于所述固定台上；至少两个压感组件，位于所述承载组件上，用于检测所述底板是否倾斜；解锁组件，包括设置于所述固定台上且与所述锁扣一一对应的解锁器，所述解锁器包括驱动单元及锁钩，所述锁钩拉动对应的所述锁扣以对所述锁扣进行解锁，使所述底板和保护罩分离。设置至少两个压感组件，检测所述底板是否倾斜，防止所述底板倾斜时出现单侧解锁及所述掩模版滑落的情况。