本公开涉及一种掩模缺陷检测系统，包括：真空腔体和隔振平台，所述真空腔体位于所述隔振平台上方，还包括：激光器，用于作为系统光源产生激光；光束整形系统，用于对所述激光进行光束整形；退相干反射镜，用于实现对所述激光的退相干；光瞳转换轮，用于光瞳选择；波带片，用于对掩模上的缺陷进行成像，法兰，用于实现腔体之间的密封连接；四爪狭缝，用于对照明光斑的尺寸进行微调；所述退相干反射镜、所述光瞳转换轮以及所述波带片位于所述真空腔体内；所述激光器产生的激光依次经过所述光束整形系统、所述法兰及四爪狭缝、所述退相干反射镜和所述光瞳转换轮，照射到掩模上进行掩模缺陷检测。