一种动态随机存取存储器及其方法，其中，方法包括：提供衬底，衬底具有相对的第一面和第二面，衬底包括若干相互独立的存储区，相邻存储区之间具有间隔区，存储区中具有若干相互分立的有源区，有源区在第一方向上延伸，有源区包括若干沟道区；在存储区中的有源区内形成若干字线栅结构；在第一面和若干字线栅结构表面形成介电层；在介电层内形成若干电容；在介电层上形成电容极板，电容极板与电容电连接；在电容极板内形成若干应力调节凹槽，应力调节凹槽位于间隔区上；形成若干应力调节凹槽后，在第二面上形成若干位线，每个位线与1个有源区内的若干沟道区电连接。从而，减少了动态随机存取存储器的翘曲，提高存储器可靠性。