一种动态随机存取存储器及其形成方法，其中，方法包括：提供衬底，所述衬底具有相对的第一面和第二面，所述衬底包括相互分立的若干有源区，所述有源区在第一方向上延伸，所述有源区包括若干相互独立且沿第一方向排列的沟道区；在每个有源区内形成若干字线栅结构，每个字线栅结构与1个沟道区邻接，所述若干字线栅结构沿第二方向贯穿所述有源区，所述第二方向垂直于所述第一方向；形成若干字线栅结构之后，在所述第一面形成第一器件层；在所述第一器件层上形成第一介电层；在所述第一介电层内形成若干应力调节结构；形成所述若干应力调节结构后，在所述第二面形成第二器件层。从而，减少了动态随机存取存储器的翘曲，提高了存储器可靠性。