一种带状传输薄膜晶体管及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种带状传输薄膜晶体管及其制备方法，涉及有机场效应晶体管技术领域。该薄膜晶体管的介电层为双层聚合物介电层，半导体层为2,6‑二苯基蒽；双层聚合物介电层的上层为PPO、PAA或PVP，下层为PI。制备过程：首先在导电玻璃表面涂覆PI前体，退火得到PI薄膜；然后对薄膜进行氧等离子体处理，在处理后的PI表面涂覆PPO、PAA或PVP溶液，退火，得到双层聚合物介电层；在双层聚合物介电层上衬底50℃蒸镀2,6‑二苯基蒽薄膜和源/漏电极，得薄膜晶体管。本发明改变了电荷常见的热激活传输模式，实现了高质量载流子运输的带状传输模式，使得晶体管能够更好的面对使用过程中的应用挑战。
基本信息
专利标题 ：
一种带状传输薄膜晶体管及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114530556A
申请号 ：
CN202210159854.9
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-02-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
纪德洋郑莹爽李立强
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
天津市南开区卫津路92号
代理机构 ：
北京盛询知识产权代理有限公司
代理人 ：
李艳芬
优先权 ：
CN202210159854.9
主分类号 ：
H01L51/05
IPC分类号 ：
H01L51/05 H01L51/40
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/05
申请日 : 20220222
申请日 : 20220222
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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